Sustav rotora
Pogonska jezgra suhe vakuumske pumpe je precizno postavljen sklop rotora, koji se obično sastoji od dva do tri rotora u obliku spirale ili-kandže. Ovi visoko{2}}precizni metalni rotori međusobno se povezuju s mikronskim-razmacima, koristeći protu-rotaciju za pogon plina iz ulaznog otvora prema ispušnom otvoru. Jedinstveni dizajn profila rotora-kao što su evolventni ili kružni lučni profili-određuje učinkovitost pumpanja; rotacijske brzine mogu doseći 3000–6000 o/min, a jedno-omjer kompresije može premašiti 10:1.
Brtvena struktura
Za razliku od uljno{0}}zabrtvljenih pumpi, suhe pumpe održavaju vakuumski integritet putem tro-mehanizma brtvljenja:
Labirintske brtve: više-fazni, vijugavi kanali koji se nalaze na krajevima rotora koriste otpor protoku zraka da blokiraju curenje.
Plinska barijera: Inertni plin se ubrizgava u kritične zazore kako bi se stvorila pneumatska tlačna barijera.
Specijalizirani premazi: Površine rotora obložene su materijalima kao što je PEEK (polieter eter keton), koji pruža otpornost na trošenje i smanjeni koeficijent trenja.
Ove karakteristike dizajna održavaju stopu curenja ispod 0,5 Pa·m³/s, čime se ispunjavaju strogi zahtjevi čistoće u industrijama kao što je proizvodnja poluvodiča.
Modul za hlađenje: "Čuvar temperature" za kontinuirani rad
Zbog nepostojanja podmazivanja-na bazi ulja, suhe pumpe zahtijevaju inteligentan sustav upravljanja toplinom:
Zračno hlađenje: rebra za odvođenje topline od aluminijske legure uparena s centrifugalnim ventilatorom odvode do 60% proizvedene topline.
Vodeno hlađenje: unutarnja petlja za cirkulaciju vode od bakrene-cijevi osigurava učinkovitost izmjene topline koja je tri puta veća od učinkovitosti hlađenja zrakom.
Faza-Promjena hlađenja: određeni modeli koriste tehnologiju toplinske cijevi, postižući stopu toplinske vodljivosti do 100 puta veću od one čistog bakra.
